

*本文轉(zhuǎn)載自:CTI華測半導體測試與分析服務(wù)公眾號
繼CTI華測檢測半導體檢測及分析中心合肥FA實驗室完成場地擴容、硬件煥新后,我們又迎來關(guān)鍵一步:國儀量子SEM-4000X場發(fā)射掃描電子顯微鏡已于2026年3月正式導入運營,中部地區(qū)半導體微納分析能力再上新臺階!
此前,實驗室已通過場地科學布局與硬件擴容,實現(xiàn)化性實驗、切片實驗兩大核心環(huán)節(jié)產(chǎn)能提升超50%。如今SEM-4000X投用,讓實驗室實現(xiàn)從“效率提升"到“精度升級"的關(guān)鍵跨越。

高清成像,精準捕捉微納細節(jié)
專為半導體失效分析與材料表征設(shè)計,低電壓模式下可清晰捕捉芯片微納結(jié)構(gòu),有效減少荷電效應(yīng)和輻照損傷,讓缺陷與界面信息無所遁形。

大樣兼容,適配多元分析需求
配備快速換樣倉,可支持4寸晶圓(直徑100mm),滿足客戶對更大尺寸樣品的分析需求,適配晶圓、元器件等多樣品形態(tài)檢測。

SEM-4000X核心參數(shù)
分辨率:0.9nm@30KV(SE),1.0nm@15KV(SE),1.8nm@1KV(SE)
加速電壓:200V-30KV
放大倍率:1~1,000,000X
樣品臺行程:X=110mm,Y=110mm,Z=50mm,支持-10°~+70°傾斜
電子槍類型:肖特基場發(fā)射電子槍,確保長期穩(wěn)定性
實驗室已完成“效率+精度"雙重升級,將以更高效的制樣流程、更精準的微納分析能力,為半導體、新能源、先進制造等行業(yè)提供可靠檢測支撐。
未來,CTI華測檢測半導體檢測及分析中心合肥FA實驗室將持續(xù)深耕技術(shù)、優(yōu)化服務(wù),以硬核實力助力客戶定位問題、優(yōu)化產(chǎn)品性能,攜手行業(yè)伙伴探索半導體產(chǎn)業(yè)更多可能。
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