過高的加速電壓會(huì)帶來過強(qiáng)的穿透力，導(dǎo)致電子束穿透樣品表層，反而模糊了表面的真實(shí)細(xì)節(jié)，無法獲得清晰的表面形貌。

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，高電壓會(huì)加劇荷電效應(yīng)，造成圖像漂移、畸變，嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。

針對(duì)生物、高分子等對(duì)電子束敏感的材質(zhì)，高電壓帶來的強(qiáng)輻照會(huì)直接破壞樣品的真實(shí)結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致觀察到的并非樣品本征狀態(tài)。

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